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核心產(chǎn)品：半導(dǎo)體領(lǐng)域的氫氣純化設(shè)備—9N級(jí)超純。 采用自主研發(fā)的金屬膜材料，開(kāi)發(fā)了9N級(jí)超純氫氣純化設(shè)備，匹配CVD制備GaAs、InP、GaN、SiC基半導(dǎo)體，具有9N級(jí)超純、高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命、易維護(hù)等優(yōu)勢(shì)。 對(duì)標(biāo)意大利SAES、日本JPC、英國(guó)Johnson Matthey等鈀膜氫氣純化設(shè)備，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口，填補(bǔ)空白，解決高端半導(dǎo)體制備的卡脖子難題。 20-120 Nm3/h系列化標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

與傳統(tǒng)吸附劑氫氣純化技術(shù)相比，金屬膜氫氣純化具有氫氣純度更高、露點(diǎn)更低，對(duì)原料氫氣的純度要求更低等優(yōu)勢(shì)。與傳統(tǒng)“魚雷車供氫+吸附劑氫氣純化”路線相比，“電解水制氫+膜分離氫氣純化”路線，可以大幅度降低LED/LCD等半導(dǎo)體領(lǐng)域超純氫的供給成本。

ZQ-HM系列高流量超純氫氣純化器針對(duì)電解水制氫和瓶裝粗氫等多種來(lái)源的含氫原料氣，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化超純氫制備，能夠充分發(fā)揮膜純化方式的經(jīng)濟(jì)、高效和穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)，性能達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平

在半導(dǎo)體、氯堿、合成氨等領(lǐng)域的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中有大量的副產(chǎn)氫氣可回收。采自主研發(fā)的特種金屬膜，開(kāi)發(fā)了ZQ-HPE-TGHR系列設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)氫氣的原位在線回收、純化和循環(huán)再利用等；設(shè)備占地面積小，與原有設(shè)備的匹配性強(qiáng)、兼容性高。

針對(duì)天然氣重整制氫溫度高、流程長(zhǎng)、轉(zhuǎn)化率相對(duì)較低以及粗氫組分復(fù)雜等特點(diǎn)，采用自主研發(fā)的特種金屬膜，開(kāi)發(fā)了ZQ-HPE-NGR系列氫氣純化設(shè)備，與天然氣重整制氫設(shè)備匹配性高、適應(yīng)性強(qiáng)。高溫、高壓粗氫直接通入膜純化器，抗CO中毒，耐高含量水蒸氣，氫氣純化效率高、氫回收率高、穩(wěn)定性高。

針對(duì)氨裂解制氫系統(tǒng)壓力低、溫度高的特點(diǎn)，采用自主研發(fā)的特種金屬膜，開(kāi)發(fā)了ZQ-HPE-AC系列氫氣純化設(shè)備，與氨裂解制氫設(shè)備匹配性高、適應(yīng)性強(qiáng)。低壓、高溫氨裂解粗氫直接通入膜純化器，無(wú)需殘氨預(yù)處理(金屬膜耐高含量殘氨)，熱利用率高，氫氣純化效率高，氫回收率高，穩(wěn)定性高。

ZQ-PS系列微流量電解水制氫超純氫氣純化設(shè)備，滿足每個(gè)超純氫應(yīng)用場(chǎng)景的需求，始終確保最大的易用性和氣體純度。 采用國(guó)際一流的膜分離技術(shù)，無(wú)需任何外部?jī)艋驂嚎s體系為超純氫使用設(shè)備提供安全、穩(wěn)定和低成本的超純氫解決方案。

與傳統(tǒng)吸附劑氫氣純化技術(shù)相比，金屬膜氫氣純化具有氫氣純度更高、露點(diǎn)更低，對(duì)原料氫氣的純度要求更低等優(yōu)勢(shì)。與傳統(tǒng)“魚雷車供氫+吸附劑氫氣純化”路線相比，“電解水制氫+膜分離氫氣純化”路線，可以大幅度降低LED/LCD等半導(dǎo)體領(lǐng)域超純氫的供給成本。

ZQ-MPI系列甲醇重整制氫純化器是針對(duì)甲醇重整制氫特點(diǎn)開(kāi)發(fā)的純化設(shè)備。該設(shè)備基于膜分離技術(shù)對(duì)重整氣進(jìn)行氫氣分離和純化，可滿足多工況下甲醇重整制氫純化需求，并為用氫端穩(wěn)定提供高純氫。

甲醇重整制氫受溫度、催化劑、醇水比等影響，得到的粗氫組分復(fù)雜、差異大，含有CO2、CO、H2O、CH4等多種雜質(zhì)，尤其CO含量高，采用變壓吸附(PSA)等純化方法無(wú)法將CO降低到質(zhì)子膜燃料電池使用要求的0.2 ppm以下。中氫新能源自主研發(fā)的特種金屬膜，抗CO中毒，耐高含量水蒸氣，氫回收率高；開(kāi)發(fā)的ZQ-HPE-MSR系列，與甲醇重整制氫工藝匹配性高、兼容性強(qiáng)。

ZQ-API系列氨裂解制氫純化器是針對(duì)氨裂解制氫低壓高溫特點(diǎn)開(kāi)發(fā)的純化設(shè)備。該設(shè)備基于膜分離技術(shù)對(duì)粗氫進(jìn)行氣分離和純化，可滿足不同工況下氨裂解制氫純化需求，并為用氫端穩(wěn)定提供高純氫。