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產(chǎn)品與服務(wù)
Products and Services
ZQ-HPE系列
核心產(chǎn)品：半導(dǎo)體領(lǐng)域的氫氣純化設(shè)備—9N級(jí)超純。
采用自主研發(fā)的金屬膜材料，開(kāi)發(fā)了9N級(jí)超純氫氣純化設(shè)備，匹配CVD制備GaAs、InP、GaN、SiC基半導(dǎo)體，具有9N級(jí)超純、高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命、易維護(hù)等優(yōu)勢(shì)。
對(duì)標(biāo)意大利SAES、日本JPC、英國(guó)Johnson Matthey等鈀膜氫氣純化設(shè)備，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口，填補(bǔ)空白，解決高端半導(dǎo)體制備的卡脖子難題。
20-120 Nm3/h系列化標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào)ZQ-HPE-20ZQ-HPE-30ZQ-HPE-60ZQ-HPE-120
產(chǎn)品氫流量(Nm3/h)0-200-300-600-120
產(chǎn)品氫壓力（MPaG）0.1-10.1-10.1-10.1-1
產(chǎn)品氫溫度（℃）＜60＜60＜60＜60
產(chǎn)品氫純度（Vol%）≥9N≥9N≥9N≥9N
露點(diǎn)溫度（℃）＜-100＜-100＜-100＜-100
使用壽命（年）純化單元使用壽命＞5年，設(shè)備使用壽命＞10年
冷態(tài)啟動(dòng)時(shí)間（h）＜1
氣源品質(zhì)氣源品質(zhì)(2N-3N)需根據(jù)具體成分分質(zhì)處理；氣源品質(zhì)(≥5N)可直接接入
長(zhǎng) × 寬 × 高（mm）1800×800×20003000×800×2000
備注表中僅列出標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，更多需求請(qǐng)與中氫新能源聯(lián)系
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